Математическое моделирование лазерной подгонки пленочных резисторов (30.03.2009)

Автор: Антонов Юрий Николаевич

Антонов Юрий Николаевич

МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ЛАЗЕРНОЙ

ПОДГОНКИ ПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ

Специальность 05.13.18

Математическое моделирование, численные методы

и комплексы программ

АВТОРЕФЕРАТ

диссертации на соискание ученой степени

доктора технических наук

Ульяновск - 2009

Работа выполнена на кафедре «Вычислительная техника»

Ульяновского государственного технического университета

Научный консультант: - доктор технических наук,

профессор Соснин Петр Иванович

Официальные оппоненты: - доктор физико-математических наук,

профессор Самохвалов Михаил

Константинович

- доктор технических наук,

профессор Бутаев Михаил Матвеевич

- доктор технических наук,

профессор Егоров Юрий Петрович

Ведущая организация: - научно-производственное

предприятие «Электронное

специальное технологическое

оборудование»,

г. Москва, г. Зеленоград

Защита состоится «3 » июня 2009 г. на заседании диссертационного совета Д 212.277.02 при Ульяновском государственном техническом университете по адресу: 432027, г. Ульяновск, ул. Cеверный Венец, 32, ауд. 211, гл. корпус.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке Ульяновского государственного технического университета.

Автореферат разослан « » 2009 г.

Ученый секретарь

диссертационного совета, В.Р. Крашенинников

д. т. н., профессор

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность исследования. Интегральные схемы (ИС), изготовленные по гибридной технологии, применяются во многих областях электронной техники, где предъявляются высокие требования к рабочим характеристикам электронных устройств: аэрокосмическая техника, военная аппаратура, схемы СВЧ, автомобилестроение, телекоммуникации и т.д.

Качество гибридных ИС зависит от точности параметров пассивных компонентов, особенно пленочных резистивных элементов (РЭ). Разброс в значениях параметров и нестабильность технологического процесса (ТП) не позволяют воспроизводить РЭ с высокой точностью сопротивления, из-за чего уменьшается выход годных плат гибридных ИС. Лазерная подгонка, повышающая точность сопротивления РЭ, является одним из методов увеличения выхода годных плат гибридных ИС и регулирования ТП их изготовления. С помощью лазерного луча при подгонке происходит изменение конфигурации РЭ, сопровождаемое изменением и его сопротивления. Совокупность получаемых значений сопротивления при подгонке составляет подгоночную характеристику (ПХ) РЭ. Достижение нормативной точности сопротивления при подгонке зависит как от конфигурации пленочного РЭ, так и от формы применяемых лазерных резов. Обоснование формы лазерных резов и координат начала обработки для конкретной формы РЭ составляет сущность проектирования подгонки и применения ее как средства настройки механизма регулирования ТП изготовления плат гибридных ИС. В настоящее время выбор проекта подгонки осуществляется на основе опыта и имеющихся практических прецедентов. Однако, использование только экспериментальных данных, из-за ограниченности их объема, не позволяет квалифицировать выбираемый вариант проекта подгонки как оптимальный. Отсутствие достоверной информации и методик выявления оптимальных проектов, а также субъективность и несовершенство отбора вариантов являются основными проблемами при проектировании подгонки, от которых зависят точность сопротивления РЭ и затраты ресурсов предприятий микроэлектроники и приборостроения на ее обеспечение в условиях роста требований к параметрам гибридных ИС. Решение названных проблем требует модельных исследований, охватывающих одновременно технологии изготовления гибридных ИС и методы принятия решений.

Исходные теоретико-методологические посылки, используемые в ходе выполнения диссертации, основываются на трудах как зарубежных, так и отечественных исследователей:

1) по технологии изготовления ИС и моделированию технологических операций микроэлектроники: Д. Антониадиса, Р. Даттона, Д. Колларда, Tапан K. Гурта, К. Танигучи, К. Салсбурга, Л. Мейссола, В.Д. Гимпельсона,

В.В. Нелаева, М.В. Казитова, А.Ф. Буренкова, Ю.А. Родионова, Л.М. Анищенко, С.Ю. Лавренюка, В.В Петрухина;

2) по лазерной подгонке пленочных резисторов: К. Банаса, Р. Уэебба,

М.Г. Коэна, З.Ю Готра, И.Я. Хромяка, Л.Н. Войтекова;


загрузка...