Методы и приборы лазерной и спектральной эллипсометрии с бинарной модуляцией состояния поляризации (28.10.2011)

Автор: Ковалев Виталий Иванович

Климов В.В., Ковалев В.И., Крапивин В.Ф., Мкртычан Ф.А., Руковишников А.И. Адаптивная информационная система для экологического мониторинга водной среды. Вопросы радиоэлектроники, серия Общетехническая, 2002, в.2, с. 88-91.

Ковалев В.И., Кузнецов П.И., Житов В.А., Захаров Л.Ю., Руковишников А.И., Хомич А.В., Якущева Г.Г., Гапоненко С.В. Спектральная эллипсометрия многослойных гетероструктур ZnS-ZnSe. Журнал прикладной спектроскопии, 2002, т. 69, c. 258-263.

Kuznetsov P. I., Yakushcheva G.G., Kovalev V.I., Ermolenko M.V. Optical properties of multilayer heterostructures based on ZnSe/ZnS. In “Physics, Chemistry, and Application of Nanostructures”, World Scientific, 2003 p. 102-106.

Ковалев В.И., Руковишников А.И. Компактный многоканальный спектроэллипсометр. Приборы и техника эксперимента, 2003, с.164-165.

Ковалев В.И., Руковишников А.И.. Импульсный спектральный эллипсометр с бинарной модуляцией состояния поляризации. Приборы и техника эксперимента, 2003,с.162-163.

Leontyev A.V., Kovalev V.I., Khomich A.V., Komarov F.F., Grigoryev V.V., Kamishan A.S. PMMA and polystyrene films modification under ion implantation studied by spectroscopic ellipsometry. Proceedings SPIE, 2004, v.5401, p. 129-136.

Кhomich A.V., Kovalev V.I., Vedeneev A.S., Kazanskii A.G., Forsh P.A., He D., Wang X.Q., Mell H., Vlasov I.I., Zavedeev E.V. Optical and photoelectrical characterization of as-deposited and annealed PECVD polysilicon thin films. Proceedings SPIE, 2004, v.5401, p. 200-207.

Komarov F.F., Leontyev A.V., Khomich A.V., Kovalev V.I. The formation of dielectric microwaveguides at the system polymer/SiO2/Si by using of ion irradiation. Vacuum, 2005, v. 78, p. 617-622.

Khomich A.V., Kovalev V.I., Zavedeev E.V., Khmelnitskiy R.A., Gippius A.A. Spectroscopic ellipsometry study of buried graphitized layers in ion implanted diamond. Vacuum, 2005, v. 78, p. 583-587.

Mkrtchan F.A.,.Krapivin V.F., Kovalev V.I., Klimov V.V.Rukovishnikov A.I., Nguen Si Hong, Bui Cuok Nghia. Adaptive Spectroellipsometric Technology for the Precise Real-Time Monitoring of the Water Systems. Environmental Informatics and Education, №6, 2006, рр.124-130.

Mkrtchyan F.A.,Krapivin V. F.,Kovalev V. I.,Klimov V.V. An adaptive spectroellipsometric technology for ccological monitoringof sea water. PICES Scientific Report,2006,No.36,pp.215-218.

Иовдальский В.А., Пелипец О.В., Зубков Н.П., Ковалев В.И. Исследование состава алмазоподобных пленок углерода, используемых в изделиях микроэлектроники. Электронная техника. Сер. 1. СВЧ-техника, 2007, в. 1 (489), с.70-78.

Вихрова О.В., Данилов Ю.А., Демидов Е.С., Звонков Б.Н., КовалевВ.И., Кунькова З.Э. и др. Ферромагнетизм в напыленных лазером GaMnAs слоях. Известия РАН, сер. Физическая, 2007, т. 71, №1, с. 37-39.

Ганьшина Е.А., Голик Л.Л., Ковалев В.И., Кунькова З.Э., Вашук М.В., Вихрова О.В., Звонков Б.Н., Сафьянов Ю.Н., Сучков А.И. «Оптическая и магнитооптическая спектроскопия тонких композитных слоёв GaAs-MnAs», Известия РАН, сер. Физическая, 2008, т.72, №2, с. 176-179.

Самарцев И.Э., Крапивин В.Ф., Ковалев В.И., Ковалев С.В., Потапов И.И. Экономическая эффективность технологии гибких информационно - моделирующих систем в задачах мониторинга окружающей среды. Экономика природопользования, 2009, №1, с. 88-100.

Фролов В.Д., Герасименко В.А., Кононенко В.В., Пименов С.М., Хомич А.В., Ковалев В.И., Кирпиленко Г.Г., Шелухин Е.Ю. Оптические свойства наноструктурированных пленок а-С:Н:Si. Российские нанотехнологии, 2009, т.4 , № 5-6, с. 138-143.

Gan’shina E.A., Golik, L.L., Kovalev V.I., Kun’kova Z.E., Temiryazeva M.P., Danilov Yu.A., Vikhrova O.V., Zvonkov B.N., Rubacheva A.D., Tcherbak P. N., Vinogradov A.N.,Zhigalina O.M., Resonant enhancement of the transversal Kerr effect in the InMnAs layers. J. Phys.: Condens. Matter 22, 2010, 396002 (9pp) doi:10.1088/0953-8984/22/39/396002

Gan’shina E.A., Golik L.L., Kovalev V.I., Kun’kova Z.E., Temiryazeva M.P., Danilov Yu.A.,Vikhrova O.V.,Zvonkov B.N.,On nature of resonant transversal Kerr effect in InMnAs and GaMnAs layers. Solid State Phenomena, 2011, Vols.168-169, p.35-38. Online available since 2010/Dec/30 at www.scientific.net

Mkrtchyan F. A., Krapivin V. F., Kovalev V. I., and Klimov V. V. An adaptive spectroellipsometer for ecological monitoring," Microwave and Optical Technology Letters, 2009, Vol. 51, No. 11, pp.2792-2795.

Ковалев В.И., Елинсон М.И., Игнатов Б.Г., Перов П.И., Габучян В.М. Поляризационный интерферометр - модулятор. А.С. №771601.1980. Пр.14.7.1978.

Габучян В.М., Шульженко М. П., Лобзин С.Е., Кирсанов Н.С., Ковалев В.И. Устройство для бесконтактного измерения параметров планарно- эпитаксиальных структур. А.С.№687925. 1979.

Ковалев В.И., Елинсон М.И. Способ эллипсометрических измерений.А.С. №1288558. 1985. Пр.20.04.1983.Оп. 7.02.1985.Б.И. №5.

Ковалев В.И., Елинсон М.И., Перов П.И. Эллипсометр. А.С.№1160810.- 1985. Пр. 20.04.1983.

Ковалев В.И. Спектральный эллипсометр. А.С.№1369471. 1988. Пр. 28.02.1986.

Ковалев В.И., Эллипсометр. А.С.№ 1695145 . 1989. Пр. 3.08.1988.

Ковалев В.И., Россуканый Н.М. Ахроматическое фазосдвигающее устройство. А.С.№1337860.1987.Пр.27.02.1986.

Ковалев В.И. Эллипсометр. Патент России № 1695145. Зарегистрирован 10.01.1996г.

Ковалев В.И., Елинсон М.И., Габучян В.М., Шульженко М.П. Двухлучевой эллипсометр на основе Не- Ne лазера ЛГ-126. Тезисы докладов 1 Всесоюзной конференции по эллипсометрии. Новосибирск.1977, с.73.

Kovalev V.I., Elinson M.I., Karnaukhov V.A., Potapov V.T. Optical method investigations of structures used in the linear integral circuit production. Proceedings of the International Simposium on Reliability of microelectronic devices. Berlin. 1978. p. 62-65.

Kovalev V.I., Elinson M.I. Polarization optical device for the investigation of microelectronic structures. IV International Conference “ Mikronika-79. Abstracts.p.112, 20-22 November 1979. Warszawa.

Ковалев В.И., Елинсон М.И., Игнатов Б.Г., Россуканый Н.М., Тужиков А.В. Эллипсометр-гониофотометр для экспрессного определения параметров материалов микроэлектроники. Тезисы докладов 1 Всесоюзной школы - семинара « Проблемы функциональной микроэлектроники» Горький. 1980. С.31.

Ковалев В.И., Елинсон М.И., Габучян В.М. Исследование кремниевых структур методами эллипсометрии с поляризационной модуляцией. Тезисы докладов на 9 Всесоюзной научно-технической конференции по микроэлектронике. Казань. 1980 , С. 28.

Ковалев В.И., Габучян В.М., Елинсон М.И., Россуканый Н.М. Эллипсометр с дискретной модуляцией состояния поляризации для экспрессных измерений в видимой и ИК области области спектра.2 Всесоюзная конференция по эллипсометрии. Новосибирск, 1981, с. 120.

Шаповалов В.И., Лискин Ю.Ф., Просвирников В.В., Ковалев В.И., НикитенкоН.Д., Петрова И.М. Исследование деградационных процессов в контактной области герконов. Всеcоюзная научно-техническая конференция « Специальные коммутационные элементы»,19-21 сентября 1984 , Рязань, с.26.

Россуканый Н.М., Ковалев В.И., Елинсон М.И. ИК – эллипсометр на основе СО и СО2 лазеров. Всесоюзная Конференция по эллипсометрии. Новосибирск. 1985. с. 96.

Ковалев В.И., Габучян В.М., Елинсон М.И. Эллипсометрия с дискретной модуляцией состояния поляризации. Всесоюзная Конференция по эллипсометрии. Новосибирск. 1985, с.87.

Ковалев В.И., Россуканый Н.М.,Руковишников А.И. Эллипсометрия с дискретной модуляцией состояния поляризации - эффективный метод исследования электронных структур. Тезисы докладов на ежегодном Совещании общества Попова,4.10.1986,с. 31.

Ковалев В.И., Елинсон М.И., Руковишников А.И. Автоматические эллипсометры для исследования материалов и структур микроэлектроники. Тезисы докладов на I Всесоюзной конференции « Физические и физико-химические основы микроэлектроники» Вильнюс.1987. С. 174-176.

Скоростной автоматический эллипсометр с бинарной модуляцией состояния поляризации для картографирования и исследований in situ. Сборник достижений АН СССР. 1989, с.27.

Ковалев В.И., Руковишников А.И. Малогабаритный автоматический эллипсометр для исследований in situ. Всесоюзная конференция « Поверхность 89» Черноголовка,4-6 июля 1989, с. 155.


загрузка...