Разработка и исследование технологических основ формирования легированных анодных пленок диоксида кремния (04.10.2010)

Автор: Милешко Леонид Петрович

55. Mileshko L.P. Anodic oxidation of silicon carbide in doping electrolytes on the basis of ethylene glycol // Abstracts V International Seminar on Silicon Carbide and Related Materials(ISSCRM-2004). Velikij Novgorod. 2004. – P. 85-86.

56. Милешко Л.П. Анодные пленки легированного диоксида кремния как диффузант в микроэлектронной технологии. Химия твердого тела и современные микро- и нанотехнологии. IY Международная конференция. Кисловодск-Ставрополь: СевКавГТУ. – 2004. - С. 99 – 102.

57. Королев А.Н., Милешко Л.П. Физико-химические основы процессов получения наноразмерных анодных оксидных пленок кремния, легированных фосфором. Труды международной научно-технической конференции «Нанотехнологии - 2010». Таганрог: ТТИ ЮФУ. 2010. - Ч.1. – С. 243-244.

Личный вклад соискателя в работах, выполненныхв соаторстве:

- в монографии [1] раздел 1 написан лично, остальные разделы написаны совместно с соавтором;

- в работах [2-5], [8-10], [12-14], [23-29], [31, 32], [37-39, 45, 48, 49, 52, 54] - экспериментальные исследования и анализ результатов выполнены совместно с соавторами, соискателю принадлежит постановка задач;

- в работе [14] – соискателю принадлежат аппроксимирующие выражения и планирование экспериментов, анализ результатов выполнен совместно с соавторами;

- в работе [30] – постановка проблемы и анализ публикаций выполнены совместно с соавторами;

- в работах [42, 57] – постановка задачи и разработка механизмов процессов сделаны совместно с соавтором, результаты экспериментального исследования и их анализ принадлежат соискателю;

- в работе [50] – разработка алгоритмов программы выполнена совместно с соавторами.

Издательство Технологического института

Южного федерального университета

ГСП 17А, Таганрог,28, Некрасовский, 44

Типография Технологического института

Южного федерального университета

ГСП 17А, Таганрог, 28, Энгельса, 1

Заказ № 268


загрузка...